Forschung // 21. Juni 2006

Klettverschluß im Miniformat

Siliziumgras“ hält Mikrobauteile zusammen

Deutsche Forscher haben einen winzigen Klettverschluss für Halbleiterbausteine entwickelt. Dazu rauen sie die Oberfläche des Halbleitermaterials Silizium so lange auf, bis eine rasenartige Struktur aus Siliziumnadeln entsteht. Gegeneinander gedrückt verkeilen sich die Nadeln ineinander und geben den Bauteilen festen Halt. Mit dem Klettverschlussverfahren können Hersteller Bauteile auch exakter als bisher gegeneinander positionieren, berichten Mike Stubenrauch und seine Kollegen von der TU Ilmenau.

Original: http://www.iop.org/EJ/abstract/0960-1317/16/6/S13