Forschung // 21. Juni 2006
Klettverschluß im Miniformat
Siliziumgras“ hält Mikrobauteile zusammen
Deutsche Forscher haben einen winzigen Klettverschluss für Halbleiterbausteine entwickelt. Dazu rauen sie die Oberfläche des Halbleitermaterials Silizium so lange auf, bis eine rasenartige Struktur aus Siliziumnadeln entsteht. Gegeneinander gedrückt verkeilen sich die Nadeln ineinander und geben den Bauteilen festen Halt. Mit dem Klettverschlussverfahren können Hersteller Bauteile auch exakter als bisher gegeneinander positionieren, berichten Mike Stubenrauch und seine Kollegen von der TU Ilmenau.
Original: http://www.iop.org/EJ/abstract/0960-1317/16/6/S13